關鍵字:清洗設備、非標設備及其它、超聲波清洗設備、Scrub清洗設備、藥液(氫氟酸)清洗設備、C02清洗設備及自動化非標設備

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      東莞市日和自動化設備有限公司

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      產(chǎn)品詳情

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      mems芯片,光罩用CO2 清洗機

      所屬分類:

      mems芯片,光罩用CO2 清洗機


      產(chǎn)品描述

      設備概要:二氧化碳噴霧精密清洗機

      產(chǎn)品:4,6,8 英寸晶圓,MEMS,光罩

      功能: 從專用噴嘴噴射干冰粉,以去除顆粒和有機殘留物。晶圓無水清洗防靜電措施,防止結露機械手自動將晶圓從盒中取出并存儲。

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